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微电子及半导体

超声波喷涂技术被视为一种有效的薄膜涂层制备工艺,比如半导体圆表面的光刻胶涂覆,相比于传统旋涂工艺,超声喷涂可制备出表面微结构包裹性更好、更均匀的光刻胶涂层。东方金荣的超声波精密喷涂系统为半导体光刻胶涂覆、PCB助焊剂喷涂、微电子传感器功能性涂层涂覆等提供了表面涂覆解决方案。

光刻胶涂覆

东方金荣提供利用先进超声波喷涂技术的半导体晶圆光刻胶涂覆解决方案,相比于旋涂、浸涂等传统工艺有着均匀度高、对微结构包裹好、任意面积涂覆等优势。东方金荣超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量,极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性,并极大程度的避免的过喷问题,是传统空气喷涂的4倍以上原料利用率。

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助焊剂喷涂

东方金荣利用先进的超声波喷涂技术进行电路板助焊剂涂覆,相比于传统二流体喷涂方式,其具有更高的均匀度、精度、减少原料浪费从而降低VOCs排放、以及更低的系统维护费用。

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半导体清洗

对半导体晶圆的精密清洗方式为兆声清洗。兆声清洗技术一直被美国和日本等发达国家所掌控,东方金荣经过多年研发,已成功研制出最高可达到3000kHz的兆声波清洗技术。

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传感器

东方金荣的超声波喷涂系统为多种传感器及微电子电路如生物传感器、微流控芯片、温度传感器、气体传感器、压力传感器等提供高分子聚合物、导电层、催化剂、染料等多种高精度高均匀度的功能性薄膜制备。

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