东方金荣提供利用先进超声波喷涂技术的半导体晶圆光刻胶涂覆解决方案,相比于旋涂、浸涂等传统工艺有着均匀度高、对微结构包裹好、任意面积涂覆等优势。东方金荣超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量,极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性,并极大程度的避免的过喷问题,是传统空气喷涂的4倍以上原料利用率。
微电子及半导体
超声波喷涂技术被视为一种有效的薄膜涂层制备工艺,比如半导体圆表面的光刻胶涂覆,相比于传统旋涂工艺,超声喷涂可制备出表面微结构包裹性更好、更均匀的光刻胶涂层。东方金荣的超声波精密喷涂系统为半导体光刻胶涂覆、PCB助焊剂喷涂、微电子传感器功能性涂层涂覆等提供了表面涂覆解决方案。