超声喷雾热解法沉积TCO透明导电氧化物纳米薄膜


透明导电氧化物(TCO)薄膜涂层,例如氧化铟锡(ITO)、掺铝氧化锌(AZO)、氧化锌(ZnO)和掺氟氧化物(FDO),通常使用超声波喷雾热解技术进行沉积制备。这种独特的工艺要求沉积系统可在高温环境下喷涂腐蚀性溶液从而产生特定的涂层厚度和形貌。

在超声波喷雾热解过程中,铝锌氧化物等前驱体溶液被超声波喷头均匀雾化成微米级液滴,并在沉积在被加热到300-500℃的高温基材上。当溶质接触高温基材后便会迅速发生热裂解反应并在基材(例如钠石灰或其他玻璃)表面生长出ZnO晶体薄膜。基材衬底的温度通常对于薄膜的形貌起着至关重要的作用。

Siansonic特殊设计的防腐型超声波喷头由耐腐蚀材料制成,能够雾化各种通常具有强酸性腐蚀性的前驱体溶液,包括强腐蚀性的盐酸或氢氟酸溶液。我们的桌面式超声波喷涂系统UC320、UC330配备了最高500°C的高温加热台,为研发实验级应用提供了完整的超声波喷雾热解解决方案。

此外,超声波喷涂技术也被视为一种有效的纳米薄膜涂层制备工艺,可用于玻璃、金属、陶瓷、塑料、聚合物等各种软硬基材上的多种功能性纳米薄膜的制备,诸如AR减反增透薄膜、亲水及疏水涂层、纳米银线、碳纳米管、石墨烯等透明导电薄膜、TCO、量子点、钙钛矿等等。相比于传统的空气喷涂,超声喷涂具有高精度的膜厚控制、高均匀度、飞溅少、4倍以上的原料利用率等显著优势。而相比于真空蒸镀、CVD等镀膜工艺,超声喷涂具有很高的性价比,特别是针对大面积的镀膜,成本上更是大幅下降,因为超声喷涂被视为一种全新的产业化纳米薄膜涂层制备工艺。

二流体超声喷头.jpg

超声喷头.jpg

图1:二流体喷头与超声波喷头雾化纳米分散液对比

东方金荣凭借在应用超声波技术领域近40年的行业经验及10余年超声喷涂应用经验,可为包括如玻璃、陶瓷、金属、薄膜、半导体硅片等各种形式及规格的材料表面镀膜提供相应的超声喷涂解决方案。其中桌面式超声波精密喷涂机UC320、UC330、UC340、立式超声波精密喷涂机UC360c、传送式自动超声波精密喷涂机PL360、PL600等系列超声波喷涂设备配合我司自主知识产权的各种超声波喷头可适用于中小规格的基材镀膜的研发、中式及量产等各个级别生产。对于大尺寸基材,东方金荣宽喷型超声波喷头阵列组合可几乎适应任意宽度的喷涂范围,如一条30组宽喷型超声波喷头的喷头阵列可实现最大3-4米的宽幅喷涂。


超声喷涂
超声喷头
超声喷涂仪

特性

可选配件

注意事项

典型应用

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