槽式兆声振板

  • 兆声振板,用于组装槽式兆声清洗设备

  • 1MHz超高频超声波,更精细的声处理效应

  • 均匀的兆声声场,振板表面声强可超过5W/cm2

  • 先进的石英及蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险

  • 超低的声空化效应,不损伤器件表面

  • 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂



槽式兆声清洗 兆声清洗振板

东方金荣兆声振板可方便地装配到清洗槽上进行槽式兆声清洗。槽式兆声清洗与传统超声波清洗相似,一般将兆声发射装置置于水槽底部,清洗时晶圆放置在水槽中。该种方式的优点是使用方便,可对产品进行批量清洗,故此又被称为“批量式”兆声清洗。目前对晶圆的批量清洗、化学机械抛光、刻蚀、显影等湿法处理多采用槽式兆声装置。东方金荣通过特殊的耦合技术将压电换能器与石英或蓝宝石振荡层精确的匹配结合,可高效地向清洗槽中发射均匀的兆声声场。

兆声清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。

    Siansonic(东方金荣)槽式兆声振板的特点及优势

  • 可直接安装到清洗槽底部的兆声振板,方便二次开发

  • 兆声发射声场分布均匀,提高清洗均匀度

  • 极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤

  • 大功率兆声波换能器,振板表面声强可达5W/cm2以上

  • 石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险

  • 可全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂

  • 独特的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性

  • 第三代半导体技术的兆声发生器,全面实现数字化高频大功率驱动


振板材质:316L不锈钢、石英、蓝宝石

振板面积:可定制

可定制清洗槽

  • CMP化学机械抛光

  • 键合前清洗

  • 掩膜清洗

  • 显影

  • 去胶

  • Lift-off金属剥离

  • 湿法刻蚀

  • 镜头清洗

  • 显示屏等微电子行业精密清洗


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