东方金荣兆声振板可方便地装配到清洗槽上进行槽式兆声清洗。槽式兆声清洗与传统超声波清洗相似,一般将兆声发射装置置于水槽底部,清洗时晶圆放置在水槽中。该种方式的优点是使用方便,可对产品进行批量清洗,故此又被称为“批量式”兆声清洗。目前对晶圆的批量清洗、化学机械抛光、刻蚀、显影等湿法处理多采用槽式兆声装置。东方金荣通过特殊的耦合技术将压电换能器与石英或蓝宝石振荡层精确的匹配结合,可高效地向清洗槽中发射均匀的兆声声场。
兆声清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。
Siansonic(东方金荣)槽式兆声振板的特点及优势
振板材质:316L不锈钢、石英、蓝宝石
振板面积:可定制
可定制清洗槽
CMP化学机械抛光
键合前清洗
掩膜清洗
显影
去胶
Lift-off金属剥离
湿法刻蚀
镜头清洗
显示屏等微电子行业精密清洗