贴合式兆声清洗头

  • 贴近被清洗物,清洗效率更高

  • 极大程度减少清洗液使用量

  • 清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒

  • 超低的声空化效应,不损伤器件表面

  • 石英或蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险

  • 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂





贴合式兆声清洗 兆声清洗头

       兆声清洗利用兆赫兹级别的超高频超声波能量推动基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清除更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。

       槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大,可以大面积辐射兆声声场,从而更高效的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀,距离换能器越远声强越弱,同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面,从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布,且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量,对清洗液浪费较大,并且喷淋式兆声换能器面积较小,从而声能辐射面积较小,清洗速度较慢。

       贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面,具有非常高的传递效率和声场均匀性,同时非常节省清洗液。

    Siansonic(东方金荣)贴合式兆声清洗头的特点及优势

  • 直接贴附与被清洗物体表面,能量转化效率更高

  • 极大地减少清洗液使用量

  • 极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤

  • 无清洗液二次污染问题

  • 超高清洗精度,可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒

  • 全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂

  • 石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险

  • 独特的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性

  • 第三代半导体技术的兆声发生器,全面实现数字化高频大功率驱动


  • 适合晶圆尺寸:4寸、8寸、12寸

  • 兆声头材质:石英、蓝宝石

  • 不同尺寸可切换:如8寸/12寸可切换

  • CMP化学机械抛光

  • 键合前清洗

  • 掩膜清洗

  • 显影

  • 去胶

  • Lift-off金属剥离

  • 湿法刻蚀

  • 镜头清洗

  • 显示屏等微电子行业精密清洗


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