喷淋式兆声喷头

  • 单点喷淋式兆声清洗,无二次污染问题

  • 超高频超声波,频率最高可达3MHz

  • 清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒

  • 超低的声空化效应,不损伤器件表面

  • 无金属材质接触液体,无导电物质脱落风险

  • 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂





喷淋式兆声喷头 兆声清洗喷头 喷淋式兆声清洗

喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中,以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理,可让声能焦点直接处于被清洗物表面,然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗,其兆声转换效率更高,并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题,使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外,由于是喷嘴喷淋的方式,也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。

兆声清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。

    Siansonic(东方金荣)喷淋式兆声清洗喷头的特点及优势

  • 单点喷淋式兆声清洗,相比传统槽式清洗,可解决清洗液二次污染问题。

  • 极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤

  • 超高清洗精度,可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒

  • 全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂

  • 石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险

  • 独特的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性

  • 第三代半导体技术的兆声发生器,全面实现数字化高频大功率驱动




  • 常用兆声频率:1MHz, 2MHz, 3MHz

  • 喷头材质:PEEK, PCTFE

  • 超声波传感器:监测管路中清洗液,防止喷头干烧

  • 清洗液供液泵


  • CMP化学机械抛光

  • 键合前清洗

  • 掩膜清洗

  • 显影

  • 去胶

  • Lift-off金属剥离

  • 湿法刻蚀

  • 镜头清洗

  • 显示屏等微电子行业精密清洗

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